山下電装株式会社は、高性能のソーラシミュレータ、各種光源、検査装置を開発・製造・販売する光源メーカーです

UFM－50-110Rは、250ｎｍを主波長とした照射面積φ110mmエリアで優れた照射均一性且つ高照度の紫外線露光光源装置です。照射する光束は、ＵＶダイクロイックミラーを使用することにより、熱線をカットしてあります。
マスクアライメント機構は、コンタクト及びプロキシミティー露光が可能です。