山下電装株式会社は、高性能のソーラシミュレータ、各種光源、検査装置を開発・製造・販売する光源メーカーです
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SLIP FINDER "MATS"YIS－50HM（高倍率表面検査装置）を搭載して、エピウエハのスリップラインを C to Cで自動検査します。 判定は、検査エリア約10mm範囲を取り込み、スリップの本数、長さ、位置情報のデータを出力します。 |
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SLIP FINDER“300HM”YIS－50HMを搭載し、300mmウエハ全面のスリップラインを検査します。フープと２ロボットを採用しています。 |
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