山下電装株式会社は、高性能のソーラシミュレータ、各種光源、検査装置を開発・製造・販売する光源メーカーです

ウエハのエッジ部分のみをチャックして搬送し、検査ステージにセットする自動搬送機構を設けています。
画像処理ソフトウエア使用（オプション）により、自動検査及び管理が行えます。
欠陥検査内容はディンプル、マウンド、ソーマーク、研磨ムラ、オレンジピール、反り等です。