YISシリーズの高倍率検査装置で、視野 10mm をモニターに映し出します。 特にエピ処理後に発生するスリップラインの検査で広く使用されています。又、ハードディスク、光学研磨部品の表面検査にも有効です。 検出できる感度は、ノマルスキー顕微鏡の倍率50倍に匹敵します。