ミドルパルスソーラシミュレータ(モジュール評価用)
生産ラインでのモジュール評価用 産業技術総合研究所殿との共同開発品
ロングパルスソーラシミュレータ (モジュール校正用)
照度分布・安定性が非常に優れています 産業技術総合研究所殿 納入品
ソーラシミュレータ（セルテスター）
研究開発用もしくはセルテスター用
高近似型ソーラシミュレータ（2光源併用型）
赤外線域も太陽光に高近似 産業技術総合研究所殿 納入品
集光型ソーラシミュレータ
１SUNと集光型の併用が可能 照射強度を自由に設定
恒温槽一体型ソーラシミュレータ
恒温もしくは恒温恒湿環境での測定用
表面欠陥検査装置 「魔鏡」
鏡面平面基板の表面状態の検査用ウエハ、ガラス基板、その他φ100～φ300対応
高倍率表面検査装置
倍率50倍まで対応 スリップライン検査ハードディスク、光学研磨部品の表面検査
自動搬送・自動欠陥判定装置
画像処理により自動検査
スリップファインダー
スリップラインを自動検査
ＵＶスポット光源
紫外線硬化樹脂・インク等の硬化・乾燥用
マスクアライナー露光装置
コンタクト及びプロキシミティー露光が可能
紫外線露光光源
照射面に均一に照射波長選択が可能
紫外線露光光源 「均一君」
照射面積□50㎜の小型光源
紫外線偏光露光装置
一定の偏光光のみを照射
